| 研究生: |
馬繼賢 MA, JI-XIAN |
|---|---|
| 論文名稱: |
載子通過金屬與絕緣體及金屬與半導體介面能障間傳輸特性之研究 |
| 學位類別: |
博士
Doctor |
| 系所名稱: |
國立成功大學 - 機械工程研究所 |
| 畢業學年度: | 63 |
| 語文別: | 中文 |
| 論文頁數: | 90 |
| 中文關鍵詞: | 載子 、金屬 、絕緣體 、半導體 、傳輸特性 、蕭德基圖 、介面能障 、接觸特性 |
| 外文關鍵詞: | EMICONDUCTOR, ETAL |
| 相關次數: | 點閱:118 下載:0 |
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本文對載子通過金屬接觸介面能障之傳輸特性加以研究,首先建立載子傳輸之一般關
係式,然後將其應用於金屬與絕緣體,及金屬與半導體之介面能障上。
在金屬與絕緣體介面能障之研究方面,對藉以判別蕭得基傳導方式之蕭德基圖(Schot
tky Plot) 之圖形,在各種被忽略因素下之變化,加以探討。此種一直被忽略的因素
是,兩金屬極之非對稱性,逆向電流,電子複影對能障之影響,以及所加電壓之極性
。經研究後發現,只有在電壓值超過數伏,及絕緣體之介電常數D,與絕緣體厚度S之
積值,大於約1000A 之情況下,所繪得之蕭德基圖形,才接近傳統沿用之直線形,反
之,其圖形可為單上彎,單下彎,雙彎,以及三彎,依所加電壓之方向,數值,兩極
間能障高之差畢,以及DS積值等之聯合效果來決定。此項研究成果,可由數種實驗證
明無誤。
在金屬與半導體介面能障之研究方面,對影響鋁與矽(AL-Si) 接觸特性之因素,鎂與
矽(Mg-Si) 接觸之電流傳輸特性,以及製造鋅與矽(Zn-Si) 接觸之新方法等,分別加
以探討。結果發現,由寬為2W(由電流擠聚效應所造成之有效寬度)之環形金屬,或
寬為2W之長狹修形金屬,與經過重滲雜之半導體薄片接合,再經攝氏400 度及十分鐘
之熱處理,所製成之接觸,具有優良之電阻性接觸特性。又若將所發現之接觸特性善
加利用,則對積體電路之設計上,可實現超傳統之改進。同時所發現利用控制基片溫
度來製造鋅與矽(Zn-Si) 接觸之新方法,不僅步驟簡化,效高,經濟,更可將其推廣
於其他材料,製造其他固態電子組件。
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