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研究生: 馬繼賢
MA, JI-XIAN
論文名稱: 載子通過金屬與絕緣體及金屬與半導體介面能障間傳輸特性之研究
學位類別: 博士
Doctor
系所名稱: 國立成功大學 - 機械工程研究所
畢業學年度: 63
語文別: 中文
論文頁數: 90
中文關鍵詞: 載子金屬絕緣體半導體傳輸特性蕭德基圖介面能障接觸特性
外文關鍵詞: EMICONDUCTOR, ETAL
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  • 本文對載子通過金屬接觸介面能障之傳輸特性加以研究,首先建立載子傳輸之一般關
    係式,然後將其應用於金屬與絕緣體,及金屬與半導體之介面能障上。
    在金屬與絕緣體介面能障之研究方面,對藉以判別蕭得基傳導方式之蕭德基圖(Schot
    tky Plot) 之圖形,在各種被忽略因素下之變化,加以探討。此種一直被忽略的因素
    是,兩金屬極之非對稱性,逆向電流,電子複影對能障之影響,以及所加電壓之極性
    。經研究後發現,只有在電壓值超過數伏,及絕緣體之介電常數D,與絕緣體厚度S之
    積值,大於約1000A 之情況下,所繪得之蕭德基圖形,才接近傳統沿用之直線形,反
    之,其圖形可為單上彎,單下彎,雙彎,以及三彎,依所加電壓之方向,數值,兩極
    間能障高之差畢,以及DS積值等之聯合效果來決定。此項研究成果,可由數種實驗證
    明無誤。
    在金屬與半導體介面能障之研究方面,對影響鋁與矽(AL-Si) 接觸特性之因素,鎂與
    矽(Mg-Si) 接觸之電流傳輸特性,以及製造鋅與矽(Zn-Si) 接觸之新方法等,分別加
    以探討。結果發現,由寬為2W(由電流擠聚效應所造成之有效寬度)之環形金屬,或
    寬為2W之長狹修形金屬,與經過重滲雜之半導體薄片接合,再經攝氏400 度及十分鐘
    之熱處理,所製成之接觸,具有優良之電阻性接觸特性。又若將所發現之接觸特性善
    加利用,則對積體電路之設計上,可實現超傳統之改進。同時所發現利用控制基片溫
    度來製造鋅與矽(Zn-Si) 接觸之新方法,不僅步驟簡化,效高,經濟,更可將其推廣
    於其他材料,製造其他固態電子組件。



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